一、立式接觸式干涉儀JDS-1 1、儀器的主要用途 本儀器是一種采用量塊或標準零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計量儀器。主要用于150mm以下塊規(guī),亦可用作高精密度的長度和外徑的精密測量,是各級計量室的基本長度計量儀器之一。
被測件最大長度
Max. testpiece length
150 mm
工作臺行程Travel of spindle
5 mm
分度值調(diào)整范圍
Adjusting range of division
0.05-0.2 µm
推薦使用分度值
Recommended division
0.1 µm
測量壓力Measuring force
(1.5±0.1) N
儀器示值穩(wěn)定性
Instability of indication
0.02 µm
儀器誤差
Indication error
±(0.03+3ni∆λ) µm
n 是格數(shù), i是格值, ∆λ是濾光片波長誤差,
n is number of divisions, i is division value
∆λ is error of wavelength
儀器體積Dimensions
280x500x700 mm
儀器重量Weight
40 kg
標準配件
Standard attachments
五筋園臺Five-Rib circular stage,
九筋瑪瑙臺Agate stage,
可調(diào)園平臺Adjustable planar stage
輔助臺Auxiliary stage, fixed
平面測帽Planar contact tip, Ф2
小球面測帽Small spherical contact tip
干涉濾光片 Wavelength filter